• 技術(shù)參數(shù)

• 最大行程: 25mm

• 濾波器: 高斯(Gaussian)濾波器（ISO11562:1996）Rc濾波器

• 截止波長: 0.25，0.8，2.5

• 測(cè)量重復(fù)性: 4%

技術(shù)參數(shù)

相對(duì)示值誤差: ±7%

測(cè)量長度: λc ╳3、4、5、6、7

測(cè)量范圍: 640μm

分辨率 ： 0.001μm

測(cè)量速度： 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s

返回速度： 1mm/s（自動(dòng)）

測(cè)量方式：傳感器移動(dòng)式

測(cè)量功能

Ra、Rz、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、RS、RSm、RSk、Rk 、Wp、Wv